东南大学电子学院MEMS教育部重点实验室

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东南大学 1983 年开始集成传感器的研究，并于 1985 年在欧洲固态电子器件会议《 ESSDERC ￠85 ，Germany, p.88 》报道了集成 MOS 流量传感器的研究结果；1986 年开始了硅片直接键合技术研究，并于1987年在《 Applied Surface Science 30(2)，397（1987）》报道了硅键合材料的测试结果；1987 年开始了微传感器 CAD 研究，并于 1988 年在《 Solid State Electronics，31(2)，237（1988）》报道了MOS磁电耦合的计算机模拟结果。由于国际上MEMS的出现，实验室于1989 年申请、1990年获准国家自然科学基金项目“微机械加工静电式微电机的研究”（批准号：80075220），并于1991年在《 Transducers'91,p.894，USA》上报道了基于气体润滑的微马达研究结果。九十年代，实验室MEMS研究得到了快速发展，出版了国内MEMS专著《硅微机械加工技术，科学出版社，1996年1月》、与美国DUKE 大学合作出版了国际上第一本键合技术专著《Semiconductor wafer bonding,John Wiley Sons,1998》。

MEMS是一门新兴的交叉学科，为适应这种发展和需求，东南大学以电子科学与工程学院的《微电子学与固体电子学》学科为主题、结合工程力学系和机械工程学院相关课题组，组建了跨学科的研究结构，于1999年申请建立教育部重点实验室。实验室2000年6月通过教育部可行性论证、2001年9月通过教育部验收、2002年11月通过教育部评估。

实验室聘请了一批国内知名专家组成了学术委员会；现有教授7人（其中博士生导师4人）、副教授9人，每年招收硕士生30名左右、博士生10名左右；实验室具有国际先进水平的设计研究基础设施，较好的加工和测试仪器设备；实验室同时又是国家 “211” 工程、 “985” 工程重点建设部门；目前承担了国家973项目、863项目、国家自然科学基金重点项目、总装备部、教育部、地方政府等重大 / 重点科技研究与开发项目。